진공증착법은 1857년에 Faraday가 처음으로 행한 방법으로 이 방법은 박막제조법중에서 널리 보급된 방법이라 할 수 있다.
원리는 진공중에서 금속, 화합물, 또는 합금을 가열하여 용융상태로부터 증발시켜 증발원과 마주보고 있는 상대 표면에 박막을 만드는 것을 말한다. 또한 박막이 될 수 있는 메커니즘이 비교적 단순하기 때문에, 박막 형성에 있어서 핵생성이나 핵 성장의 이론과 대응하기가 쉽다.

제조된 박막재료는 금속, 합금을 비롯 화합물과 비금속 산화물 등이 있으며 이들 박막의 기능과 성질은 매우 다양하며, 사용범위는 소자의 소형화, 경량화, 초집적화의 추세에 따라 다방면으로 급격히 확산되고 있다.

결점으로는 만들어진 박막의 구조가 민감한 성질에 대한 재현성이 나빠, 물성을 이용한 소자의 신회성이 부족하다. 또한 증기압이 낮은 물질에 대해서는 적용하기 어렵고, 물질을 증발시키기위한 히터의 재료가 함께 증발하고, 박막 중에 불순물로서 혼입되는 수가 있다.

그러한 단점에도 플라스틱 도료 분야에서 진공증착은 우수한 도금 효과를 내거나 소재를 보호함으로써 널리 쓰이고 있다





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